Verlag Universität Erlangen-Nürnberg Lehrstuhl f. MikrocharakterisierungIrina Harder × Laterales DUV-Shearing interferometer mit reduzierter zeitlicher und räumlicher kohärenz Irina HarderUniversität Erlangen-Nürnberg Lehrstuhl f. MikrocharakterisierungTaschenbuch2007